Torlon 4203晶圆承载环真空槽、支撑凸台和微孔配刀

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Torlon 4203 晶圆承载环的配刀重点是浅真空槽、支撑凸台、微小吹扫孔和防转平面。材料受热后容易变形，夹痕也可能变成功能缺陷，所以刀具必须锋利、排屑顺畅，并配合真空软支撑。

特征配刀表

检验

检验支撑凸台共面度、内外圆自由状态圆度、微孔通畅、槽底毛边和整体平面度。最终尺寸应在零件温度稳定后测量。