Русский: Алмазный инструмент для захватного кольца пластины из RB-SiC
Задача не просто в обработке SiC, а в финише трех соосных площадок и освобождении пальцев без превращения подповерхностного дефекта в поздний скол. Припуск после инфильтрации, направление силы и чистота СОЖ определяют инструмент.
Ранжировать риск элементов
Кольцо 180 мм имеет три пальца с корнем 1,6 мм, площадки, пазы 0,8 мм, каналы и шесть отверстий. Требуются плоскостность 0,008 мм, биение 0,015 мм и Ra 0,20 мкм. Корни и выходы — красные зоны; допустимый скол задают на чертеже.
База до освобождения пальцев
Кольцевое вакуумное ложе с тремя упорами держит инфильтрованную заготовку. Металлический алмазный круг D76 черновит торец и обод; чашка D15 на смоле одновременно заканчивает три площадки с выхаживанием. Твердосплавную фрезу исключают из-за абразивного износа и хрупкого разрушения.
Алмазный инструмент по риску RB-SiC
| Элемент чертежа | Инструмент, геометрия и оправка | Причина / отклоненная альтернатива |
|---|---|---|
| Торец и обод | Металлический алмазный круг D76 | Стабильный съем. |
| Площадки | Смоляная чашка D15 | Малая сила, общая плоскость. |
| Пазы 0,8 мм | Тонкий алмазный диск с опорой | Сила направлена в обод. |
| Радиус корня | Малый гальванический алмазный инструмент | Нет острого концентратора. |
| Каналы | Алмазный инструмент 2 мм | Легкие проходы. |
| Отверстия | Алмазная коронка 6 мм и фаска | Поддержанный выход. |
Паз от поддержанного материала
Тонкий гальванический алмазный диск 0,8 мм входит от жесткого обода и останавливается до корня. После индексации керамическая подкладка держит палец при снятии перемычки. Малый алмазный инструмент делает радиус; вход от свободного конца согнул бы палец.
Кремний и тепловой удар
Кремниевая фаза засаливает круг. Нужны фильтрованная водная СОЖ стабильной температуры и мягкая правка; горячую сухую резку нельзя резко охлаждать. Алмазный инструмент 2 мм формирует каналы, коронка 6 мм сверлит на жертвенной подкладке.
Контроль без нового повреждения
Алмазная головка делает только фаску 0,10 мм; ручной абразив скругляет базы. Малосиловая КИМ или оптика измеряют пальцы и биение, интерферометрия — плоскость, микроскоп — корни. Чистый тест проверяет вакуумный путь.
Связанные технические примеры: alumina vacuum-chuck grinding; silicon-nitride cage diamond tooling.
Практические вопросы
Зачем два связующих? Металл держит форму при черновом съеме, смола снижает силу на финише.
Можно резать от свободного конца? По умолчанию нет; перемычку освобождают последней при опоре.
Когда менять инструмент? При росте мощности, блеске, уходе ширины, засаливании или росте сколов.
