Español: Herramientas diamantadas para aro RB-SiC de sujeción de oblea
La cuestión no es solo cortar SiC, sino acabar tres pads coplanares y liberar dedos sin convertir un defecto subsuperficial en rotura final. Sobremetal infiltrado, dirección de fuerza y refrigerante limpio deciden las herramientas.
Clasificar el riesgo del plano
El aro de 180 mm tiene tres dedos de raíz 1,6 mm, pads, ranuras de 0,8 mm, canales y seis agujeros. Se piden planitud 0,008 mm, salto 0,015 mm y Ra 0,20 micras. Raíces y salidas son zonas rojas; el tamaño de desconchado debe estar en el plano.
Crear datum antes de liberar dedos
Un nido de vacío anular con tres topes sostiene el blank infiltrado. Una muela diamantada metálica D76 desbasta cara y aro; una copa de resina D15 termina los tres pads juntos con spark-out. Se rechaza el planeado de carburo por desgaste abrasivo y fractura inestable.
Mapa de diamante por riesgo
| Elemento del plano | Herramienta, geometría y soporte | Razón / alternativa descartada |
|---|---|---|
| Cara y aro | Muela diamante metálica D76 | Desbaste estable. |
| Pads | Copa de resina D15 | Baja fuerza y plano común. |
| Ranuras 0,8 mm | Disco diamantado fino con respaldo | Carga hacia el aro. |
| Radio de raíz | Mini herramienta diamantada | Evita esquina aguda. |
| Canales | Herramienta diamantada 2 mm | Pasadas ligeras. |
| Agujeros | Corona diamantada 6 mm y chaflán fino | Salida apoyada. |
Abrir desde material apoyado
Un disco diamantado electrodepositado abre 0,8 mm desde el aro y se detiene antes de la raíz. Tras indexar, un respaldo cerámico sostiene el dedo durante la liberación. Una pequeña herramienta diamantada genera el radio; entrar desde el extremo libre doblaría el dedo.
Controlar carga de silicio y choque
El silicio puede cargar la muela. Refrigerante acuoso filtrado y estable, más dressado suave, evitan calor; no se alterna corte seco caliente con chorro frío. Una herramienta de 2 mm abre canales y una corona de 6 mm perfora sobre placa sacrificial.
Inspeccionar sin dañar
Una punta diamantada crea solo 0,10 mm de chaflán; el abrasivo manual redondea pads. CMM de baja fuerza u óptica miden dedos y salto, interferometría la coplanaridad y microscopía las raíces. Una prueba limpia verifica el vacío.
Comparaciones técnicas: alumina vacuum-chuck grinding; silicon-nitride cage diamond tooling.
Preguntas prácticas
¿Dos ligantes? Metal para stock y forma; resina para baja fuerza final.
¿Cortar desde el extremo libre? No por defecto; el ligamento se libera al final con apoyo.
¿Fin de vida? Potencia, brillo, deriva de ancho, carga o tendencia de desconchado.
