Français: Rectification d’un plateau en alumine : planéité, micro-trous et éclats
Réponse immédiate : un plateau à vide en alumine frittée se finit en séparant la rectification des références, la rainure et les micro-perçages, avec des outils diamantés à faible effort et une mesure après relaxation. Ce cas hypothétique de 240 mm traite la rupture fragile, pas un fraisage métallique classique.
Hiérarchie du plan
La face A exige 0,012 mm de planéité et Ra 0,4 µm; les plots arrière forment B. Une spirale de 0,35 mm alimente quatre-vingts trous Ø0,6 mm. Le parallélisme vaut 0,02 mm et les éclats doivent rester sous 0,08 mm. L’intégrité de face et l’étanchéité priment sur la seule position des trous.
Diamant et montage souple
Une meule boisseau diamant à liant métallique ébauche, puis une meule résine plus fine termine. Une pointe diamant forme la rainure et des forets diamantés électrodéposés ouvrent les trous des deux côtés. Le carbure reste limité aux éléments sacrificiels du montage. Trois touches souples supportent la première prise; après création de B, un plateau poreux à zones indépendantes porte la face.
Enlèvement fractionné et protection
Les passes croisées retirent au plus 0,08 mm par cycle thermique. La pièce est libérée, nettoyée et reposée entre les étapes. Une petite meule entre en arc dans la spirale et ralentit aux angles. Une cire soluble ferme les trous pendant la rectification; le perçage à mi-profondeur depuis chaque face limite l’écaillage. La filtration reste plus fine que Ø0,6 mm.
Usure et contrôle du circuit
Puissance, émission acoustique et microscope déclenchent le dressage; une meule glacée peut créer des fissures sous-surface. Après stabilisation, l’interférométrie ou un comparateur balayé mesure la pièce libre sur trois points. La MMT contrôle rainure et positions; la microscopie mesure Ra et éclats. Chaque zone subit une décroissance de vide et un essai de débit.
FAQ
Peut-on fraiser l’alumine frittée au carbure ?
Pas de façon rationnelle ici: le diamant réduit l’effort et maîtrise mieux l’écaillage.
Comment vérifier 0,012 mm de planéité ?
Après stabilisation, sur trois points sans bridage, puis en comparaison avec l’état monté.
Comment éviter les micro-trous bouchés ?
Les protéger, filtrer, percer des deux côtés, nettoyer selon un cycle qualifié et tester chaque voie.
Voir aussi la planéité d’une base optique et le contrôle de petits trous.
