Русский: Шлифование вакуумной плиты из оксида алюминия
Ответ: спечённую вакуумную плиту из оксида алюминия доводят разделением базового шлифования, канавки и микроотверстий, алмазным инструментом с малой силой и измерением после разгрузки. Гипотетическая плита 240 мм показывает логику контроля хрупкого разрушения.
Функциональные требования
Рабочая поверхность A имеет плоскостность 0,012 мм и Ra 0,4 мкм; задние площадки образуют B. Канавка глубиной 0,35 мм соединяет восемьдесят отверстий Ø0,6 мм. Параллельность 0,02 мм, допустимый скол 0,08 мм. Целостность поверхности и герметичность важнее отдельной координаты отверстия.
Алмазный инструмент и мягкое базирование
Черновую обработку ведёт алмазная чашка на металлической связке, чистовую — мелкозернистая на полимерной. Канавку формирует малый алмазный круг, отверстия сверлят с двух сторон. Твёрдый сплав применяют лишь для деталей приспособления. Сначала задние базы шлифуют на трёх податливых опорах, затем B устанавливают на зональный пористый вакуумный стол.
Поэтапное снятие припуска
Перекрёстные проходы снимают не более 0,08 мм за тепловой цикл; между ними плиту освобождают и выдерживают. Отверстия закрывают растворимым воском, канавку проходят с дуговым входом, а отверстия соединяют на половине толщины. Фильтр тоньше диаметра отверстия не допускает внедрения шлама.
Ресурс круга и проверка
Правку назначают по мощности, акустической эмиссии и микроскопии. После выдержки свободную плиту измеряют интерферометром или сканирующим индикатором на трёх точках. КИМ проверяет канавку и координаты, микроскоп — Ra и сколы. Каждая зона проходит испытание падением вакуума и расходом воздуха.
Вопросы
Можно ли фрезеровать спечённую керамику твёрдым сплавом?
Для этой точной поверхности нет: алмаз уменьшает силу и сколы.
Как подтвердить 0,012 мм?
Измерить выдержанную и разгруженную плиту на трёх точках, затем сравнить с установленным состоянием.
Как не закупорить отверстия?
Защитить их, фильтровать жидкость, сверлить навстречу и проверить расход каждого канала.
Полезны примеры контроля плоскостности и малых отверстий.
