PEEK-CF30晶圆搬运叉薄叉齿与真空槽配刀

中文: PEEK-CF30晶圆搬运叉薄叉齿与真空槽配刀

本案例回答“PEEK-CF30晶圆搬运叉怎样配刀才能避免两根长叉齿翘曲”。读图先从安装基面和双定位孔建立坐标，再追到真空接触面；外轮廓在叉体仍有支撑时才逐步释放。尺寸仅用于工艺说明，不代表半导体设备认证。

毛坯仍是整板时先精修安装基面和定位孔系。双叉窗口对称粗加工，叉尖保留牺牲桥；换新微刀加工真空槽，再在大面积真空夹具上交替去除桥位。

图纸特征	硬质合金刀具与刀柄	选择理由与否决方案
安装基面	10 mm两刃抛光未涂层硬质合金面铣刀，平衡短刀柄	轻切建立基准且不擦磨；多齿铝用刀易积聚磨蚀粉屑。
双薄叉齿	5 mm两刃金刚石涂层抛光硬质合金刀，14 mm有效刃长，液压刀柄	两侧交替走刀平衡应力；全深开槽会推弯悬空叉齿。
浅真空槽	1.5 mm单刃抛光硬质合金槽刀，5 mm伸出	单刃利于排出粉屑和丝状毛刺；四刃微刀会重复切热屑。
定位孔	硬质合金钻后接4 mm PCD刃铰刀，精密筒夹	铰孔把位置锁在安装基准上；小镗杆没有足够避空。
螺纹嵌件座	3 mm两刃硬质合金刀圆插补，平底倒角刀收口	圆插补控制过盈量；普通麻花钻会留下锥底。

碳纤让材料具有磨蚀性，而PEEK基体仍会因热软化。保持刃口锋利，用获准方式及时抽走干屑；槽底发亮、边缘起羽毛或负载上升就换刀。困住粉屑的多刃刀并不能提高效率。

先测安装面与定位孔关系，再把工件松夹置于平台上扫描两叉高度。用洁净低压通路检查槽的连续性，并在放大下检查所有叉齿边缘；实际晶圆搬运仍须设备另行验证。

平衡去料可减少单侧应力，也给切屑留出排出空间。

不必；只在磨损高且几何、批量合理的特征上使用。