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反应烧结碳化硅晶圆夹持环基准垫与卸荷槽金刚石配刀

RB-SiC Wafer Edge-Grip Ring Diamond Tooling for Datum Pads and Relief Slots

针对反应烧结碳化硅晶圆边缘夹持环的基准垫、柔性指爪、卸荷槽和真空通道，选择金刚石砂轮、开槽工具与低力夹具。